全自動(dòng)氣柜的功能設(shè)計(jì)

更新時(shí)間：2022-07-08

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GC特氣柜（Gas Cabinet）和GR特氣架（Gas Rack）的功能安裝設(shè)計(jì)

特氣柜Gas Cabinet是專為易燃易爆、腐蝕性、毒性等危險(xiǎn)性氣體供應(yīng)而設(shè)計(jì)的供應(yīng)系統(tǒng)，按類(lèi)別可分為：全自動(dòng)、半自動(dòng)和手動(dòng)操作?；竟δ馨ㄗ詣?dòng)吹掃、自動(dòng)切換以及緊急情況下的自動(dòng)安全切斷（當(dāng)設(shè)定報(bào)警信號(hào)被觸發(fā)時(shí)）。

全自動(dòng)氣柜通過(guò)采用PLC控制，觸控屏為人機(jī)界面，通過(guò)設(shè)備安裝的壓力傳感器、氣動(dòng)閥、過(guò)流量計(jì)等裝置，實(shí)現(xiàn)設(shè)備安全有效的運(yùn)行。其內(nèi)部PLC程式設(shè)計(jì)的安全聯(lián)鎖功能和高純閥件的合理選擇和布局，既滿足了半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)特殊氣體連續(xù)供給和高純度的要求，同時(shí)也確保了工廠正常生產(chǎn)和員工人身安全。下面由京南華建技術(shù)為大家簡(jiǎn)單介紹一下GC特氣柜（Gas Cabinet）和GR特氣架（Gas Rack）的功能設(shè)計(jì)。

特氣柜/架，VMB/VMP簡(jiǎn)介

GC—Gas Cabinet 氣瓶柜(用于危害性氣體) GR—Gas Rack 氣瓶架(用于危害性氣體)

VMB—Valve Manifold Box 閥門(mén)箱(用于危害性氣體) VMP—Valve Manifold Panel 閥門(mén)盤(pán)(用于危害性氣體) 特氣柜和VMB主要用于易燃易爆腐蝕有毒等危害性氣體，而氣瓶架和VMP一般用于非危害性氣體；主要區(qū)別在于，特氣柜和VMB都要有一個(gè)外殼上有抽風(fēng)管，當(dāng)發(fā)生小泄露等危險(xiǎn)情況時(shí)可將此類(lèi)氣體排出去避免擴(kuò)散產(chǎn)生更大危險(xiǎn)。

全自動(dòng)氣柜的功能設(shè)計(jì)

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